Дипломная работа: Комплект технологической документации по оптической контактной литографии
2. После проявления и полимеризации фоторезиста п. 8 описания технологического процесса, контроль рельефа в пленке фоторезиста проводим визуально под микроскопом. Проверяя всю рабочую поверхность подложки с имеющимися на ней элементами рисунка из пленки фоторезиста. Контролируются следующие основные критерии качества пленки: чистота рабочего поля пленки фоторезиста, наличие проколов и их количество, геометрические размеры элементов рельефа, неполное удаление фоторезиста в окнах, искажение формы элементов рисунка, наличие ореола и клина в рельефе рисунка. При обнаружении того или иного дефекта в пленке фоторезиста проводят анализ возможных причин его появления. После этого составляют план мероприятий по доработке отдельных технологических операций.
3. После удаления фотомаски п. 11 описания технологического процесса, контроль рельефа в подложки проводим визуально под микроскопом. Контролируя рабочую поверхность на соответствие ее топологии и геометрии элементов плану. Контролируются следующие основные критерии качества: наличие каверн, разрывов и их количество, геометрические размеры элементов рельефа; неполное удаление фотомаски, искажение формы элементов рисунка, наличие сужений, утолщений и изменений глубины рисунка. При обнаружении того или иного дефекта в пленке фоторезиста проводят анализ возможных причин его появления. После этого составляют план мероприятий по доработке отдельных технологических операций.
1 | I | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
МГОУ | 605124 | 605124 ВТД | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Пластина | 0 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
С | НПП | Обозначение ДСЕ | Наименование ДСЕ | кп | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Ф | НПП | Обозначение комплекта ТД | Наименование комплекта ТД | листов | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Г | Обозначение ТД | Услов. обозн. | Лист | Листов | Примечание | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Ф 1 | 605124 Пластина 9 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Ф 2 | 605124 ТЛ Титульный лист 1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Ф 3 | 605124 ВО Ведомость оборудования 1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
4 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
5 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
6 | Сборочные единицы | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
7 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
С 8 | 605124 Пластина | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Г 9 | 605124 МК 4 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Г 10 | 605124 ОК 1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Г 11 | 605124 ОКУ 3 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
12 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
13 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
14 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
15 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
16 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
17 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
18 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
19 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
20 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
21 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
22 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
23 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
24 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
25 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
26 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
27 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
28 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
29 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
30 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Разраб. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Н. контр. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
ВТД /ВДП |
Ведомость технологической документации |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
2 | 1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
МГОУ | 605124 | 605124 ВО | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
0 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
С | НПП | Обозначение ДСЕ | Наименование ДСЕ | кл | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
В | Цех | уч. | РМ | Опер. | Код, наименование операции | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Т | опер. | Обозначение ТО | Кол | Наименование ТО | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Д | НПП | Код, наименование оборудования | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
С 1 | 605124 Пластина | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
2 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Т 3 | ADT 976 Установка отмывки OSTEC | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Д 4 | EVG 101 Установка нанесения, проявления и снятия фоторезиста OSTEC | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Д 5 | HP 150 Установка сушильная Sawatec | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Д 6 | EVG 620 Установка совмещения и экспонирования OSTEC | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Т 7 | БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С" | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Т 8 |
ТУ 64-1-37-78 Пинцет ПС 160 3.О |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Т 9 | ТУ 3-3.1210-75М Микроскоп инспекционный Nikon Eclipse L200A | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Т 10 | ВТМ 4.189. 017 Тара для хранения пластин | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
11 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
12 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
13 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
14 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
15 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
16 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
17 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
18 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
19 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
20 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
21 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
22 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
23 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
24 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
25 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
26 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
27 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
28 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
29 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
30 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Разраб. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Н. контр. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
ВО/ВОБ |
Ведомость оборудования |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
3 | 1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
МГОУ | 605124 | 605124 МК | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
В | Цех | УЧ. | РМ | Опер. | Код, наименование операции | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Г | Обозначение документа | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Д | Код, наименование оборудования | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Е | см | проф | Р | УТ | КР | КОИД | ЕН | ОП | К шт | Тпз | Т шт | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Л/М | Наименование детали, сб. единицы или материала | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Н/М | Обозначение, код | ОПП | ЕВ | ЕН | КИ | Н. расх. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
В 1 | 005 Очистка подложки | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
2 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Г 3 | 605124 ОКУ | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
4 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Т 5 | БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С" | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Т 6 |
ТУ 64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 30 |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Т 7 | ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
М 8 | ОСТ 11.029.003 - 80 Вода деионизированная марки А | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Н 9 | Склад Л 8 12 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
М 10 | ГОСТ 9293-74 Азот газообразный | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Н 11 | Склад Л 8 6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Д 12 | ADT 976 Установку отмывки OSTEC | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
13 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
В 14 | 010 Контроль качества отмывки | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
15 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Г 16 | 605124 ОК | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
17 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Т 18 | БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С" | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Т 19 |
ТУ 64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 30 |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Т 20 | ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Д 21 | ТУ 3-3.1210-75М Микроскоп инспекционный Nikon Eclipse L200A | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
22 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
В 23 | 015 Нанесение фоторезиста | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
24 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Г 25 | 605124 ОКУ | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
26 | Уважаемый преподаватель курсовая скачена из интернета и студентом даже не прочитана | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Т 27 | БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С" | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Т 28 |
ТУ 64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 30 |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Т 30 | ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Страницы: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8