Дипломная работа: Комплект технологической документации по оптической контактной литографии
4 | 1 | ||||||||||||||||||
Разраб. | МГОУ | 605124 | 605124 ОК | ||||||||||||||||
Пров.. | |||||||||||||||||||
Утв. | Кристал | ||||||||||||||||||
Н. контр. | |||||||||||||||||||
Наименование операции | Наименование, марка материала | МД | |||||||||||||||||
Контроль рельефа рисунка фоторезиста | |||||||||||||||||||
Наименование оборудования | То | Тв | Обозначение иот | ||||||||||||||||
Микроскоп инспекционный Nikon Eclipse L200A | |||||||||||||||||||
Р | Контролируемые параметры | Код средств ТО | Наименование средств ТО | Объем и ПК | То / Тв | ||||||||||||||
01 | Внешний вид изделия | Микроскоп Nikon Eclipse L200A | 1. В процессе работы должна быть | ||||||||||||||||
02 | (чистота пленки фоторезиста, | ТУ 3-3.1210– 75 | отбракованна пластина в случае: | ||||||||||||||||
03 | наличие проколов, геометрические |
Пинцет ПС 160 30 |
- неполное удаление фоторезиста | ||||||||||||||||
04 | размеры элементов рельефа) | ТУ 64 – 1 – 37 78 | - наличие прополов и царапин на | ||||||||||||||||
05 | рабочей поверхности фоторезиста | ||||||||||||||||||
06 | - изменение геометрических размеров | ||||||||||||||||||
07 | рельефа (сужения, уширения, разрывы) | ||||||||||||||||||
08 | 2. При обнаружении брака разрешается: | ||||||||||||||||||
09 | - снять пластину с производства | ||||||||||||||||||
10 | направить на повторную обработку | ||||||||||||||||||
11 | направить в изолятор брака | ||||||||||||||||||
12 | |||||||||||||||||||
13 | |||||||||||||||||||
14 | |||||||||||||||||||
ОК |
Карта операционного контроля |
||||||||||||||||||
Страницы: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8